ISO 14644-5 mensyaratkan bahwa pemasangan peralatan tetap di ruang bersih harus didasarkan pada desain dan fungsi ruang bersih. Rincian berikut akan dijelaskan di bawah ini.
1. Metode pemasangan peralatan: Metode ideal adalah menutup ruang bersih selama periode pemasangan peralatan, dan memiliki pintu yang dapat memenuhi sudut pandang peralatan atau menyediakan saluran pada papan untuk memungkinkan peralatan baru melewati dan memasuki ruang bersih guna mencegah kontaminasi ruang bersih di dekat periode pemasangan. Langkah-langkah perlindungan harus diambil untuk memastikan bahwa ruang bersih tetap memenuhi persyaratan kebersihannya dan pekerjaan selanjutnya yang dibutuhkan.
2. Jika pekerjaan di ruang bersih tidak dapat dihentikan selama setiap periode instalasi, atau jika ada struktur yang perlu dibongkar, ruang bersih yang sedang beroperasi harus diisolasi secara efektif dari area kerja: dinding atau partisi isolasi sementara dapat digunakan. Agar tidak menghambat pekerjaan instalasi, harus ada ruang yang cukup di sekitar peralatan. Jika kondisi memungkinkan, akses ke area isolasi dapat melalui saluran servis atau area non-kritis lainnya: jika ini tidak memungkinkan, tindakan harus diambil untuk meminimalkan dampak polusi yang disebabkan oleh pekerjaan instalasi. Area isolasi harus mempertahankan tekanan yang sama atau tekanan negatif. Pasokan udara bersih harus dimatikan di area gedung tinggi untuk menghindari tekanan positif pada ruang bersih di sekitarnya. Jika akses ke area isolasi hanya melalui ruang bersih yang berdekatan, bantalan perekat harus digunakan untuk membersihkan kotoran dari sepatu.
3. Setelah memasuki area dataran tinggi, sepatu bot atau penutup sepatu sekali pakai dan pakaian kerja satu potong dapat digunakan untuk menghindari kontaminasi pakaian bersih. Barang-barang sekali pakai ini harus dilepas sebelum meninggalkan area karantina. Metode untuk memantau area di sekitar area isolasi selama proses pemasangan peralatan harus dikembangkan dan frekuensi pemantauan harus ditentukan untuk memastikan bahwa setiap kontaminasi yang mungkin bocor ke ruang bersih yang berdekatan dapat terdeteksi. Setelah tindakan isolasi ditetapkan, berbagai fasilitas layanan publik yang dibutuhkan, seperti listrik, air, gas, vakum, udara terkompresi, dan pipa air limbah, dapat dipasang. Perhatian harus diberikan pada pengendalian dan isolasi asap dan puing-puing yang dihasilkan oleh operasi semaksimal mungkin untuk menghindari penyebaran yang tidak disengaja ke ruang bersih di sekitarnya. Pembersihan yang efektif juga harus difasilitasi sebelum melepaskan penghalang isolasi. Setelah fasilitas layanan publik memenuhi persyaratan penggunaan, seluruh area isolasi harus dibersihkan dan didekontaminasi sesuai dengan prosedur pembersihan yang telah ditentukan. Semua permukaan, termasuk semua dinding, peralatan (tetap dan bergerak) dan lantai, harus dibersihkan dengan penyedot debu, dilap, dan dipel, dengan perhatian khusus diberikan pada pembersihan area di belakang pelindung peralatan dan di bawah peralatan.
4. Uji pendahuluan kinerja peralatan dapat dilakukan berdasarkan kondisi aktual ruang bersih dan peralatan yang terpasang, tetapi pengujian penerimaan selanjutnya harus dilakukan ketika kondisi lingkungan bersih sepenuhnya terpenuhi. Tergantung pada kondisi di lokasi pemasangan, Anda dapat mulai membongkar dinding isolasi dengan hati-hati; jika pasokan udara bersih telah dimatikan, hidupkan kembali; waktu untuk tahap pekerjaan ini harus dipilih dengan cermat untuk meminimalkan gangguan terhadap pekerjaan normal ruang bersih. Pada saat ini, mungkin perlu untuk mengukur apakah konsentrasi partikel di udara memenuhi persyaratan yang ditentukan.
5. Pembersihan dan persiapan bagian dalam peralatan dan ruang proses utama harus dilakukan dalam kondisi ruang bersih normal. Semua ruang internal dan semua permukaan yang bersentuhan dengan produk atau terlibat dalam pengangkutan produk harus dilap hingga mencapai tingkat kebersihan yang dibutuhkan. Urutan pembersihan peralatan harus dari atas ke bawah. Jika partikel tersebar, partikel yang lebih besar akan jatuh ke bagian bawah peralatan atau ke tanah karena gravitasi. Bersihkan permukaan luar peralatan dari atas ke bawah. Bila perlu, deteksi partikel permukaan harus dilakukan di area di mana persyaratan produk atau proses produksi sangat penting.
6. Mengingat karakteristik ruang bersih, terutama luas area yang besar, investasi yang tinggi, hasil produksi yang tinggi, dan persyaratan kebersihan yang sangat ketat dari ruang bersih berteknologi tinggi, pemasangan peralatan proses produksi di pabrik bersih jenis ini lebih mirip dengan pemasangan di ruang bersih biasa. Untuk itu, standar nasional "Kode Konstruksi dan Penerimaan Mutu Pabrik Bersih" yang diterbitkan pada tahun 2015 membuat beberapa ketentuan untuk pemasangan peralatan proses produksi di pabrik bersih, terutama meliputi hal-hal berikut.
①. Untuk mencegah kontaminasi atau bahkan kerusakan pada ruang bersih yang telah menjalani penerimaan "kosong" selama proses pemasangan peralatan proses produksi, proses pemasangan peralatan tidak boleh menimbulkan getaran atau kemiringan yang berlebihan, dan tidak boleh memecah dan mengkontaminasi permukaan peralatan.
②. Untuk membuat pemasangan peralatan proses produksi di ruang bersih tertib dan tanpa atau dengan sedikit gangguan, dan untuk mengikuti sistem manajemen produksi bersih di bengkel bersih, pastikan bahwa proses pemasangan peralatan produksi dilindungi sesuai dengan berbagai "produk jadi" dan "produk setengah jadi" yang diterima dalam "kondisi kosong", bahan, mesin, dll. yang harus digunakan dalam proses pemasangan tidak boleh memancarkan atau dapat menghasilkan (termasuk dalam pengoperasian normal ruang bersih dalam waktu lama) polutan yang berbahaya bagi produk yang dihasilkan. Bahan bersih yang bebas debu, bebas karat, bebas lemak, dan tidak menghasilkan debu selama penggunaan harus digunakan.
③. Permukaan dekorasi bangunan ruang bersih harus dilindungi dengan pelat, film, dan bahan lain yang bersih dan bebas debu; pelat penyangga peralatan harus dibuat sesuai dengan desain atau persyaratan dokumen teknis peralatan. Jika tidak ada persyaratan, pelat baja tahan karat atau pelat plastik harus digunakan. Profil baja karbon yang digunakan untuk fondasi independen dan penguatan lantai harus diberi perlakuan anti korosi, dan permukaannya harus rata dan halus; bahan penyegel elastis digunakan untuk pengisi celah.
④. Bahan-bahan harus diberi label dengan komposisi bahan, jenis, tanggal pembuatan, masa berlaku penyimpanan, petunjuk metode pembuatan, dan sertifikat kualifikasi produk. Mesin dan peralatan yang digunakan di ruang bersih tidak boleh dipindahkan ke ruang tidak bersih untuk digunakan. Mesin dan peralatan yang digunakan di area bersih harus memastikan bahwa bagian-bagian mesin yang terbuka tidak menghasilkan debu atau mengambil tindakan untuk mencegah debu mencemari lingkungan. Mesin dan peralatan yang umum digunakan harus dibersihkan di ruang kedap udara sebelum dipindahkan ke area bersih. Mesin dan peralatan yang digunakan di area bersih harus memenuhi persyaratan bebas minyak, bebas kotoran, bebas debu, dan bebas karat, dan harus dipindahkan setelah melewati inspeksi dan memasang tanda "Bersih" atau "Hanya Area Bersih".
⑤. Peralatan proses produksi di ruang bersih perlu dipasang pada "lantai khusus" seperti lantai raised floor. Pondasi peralatan umumnya harus diletakkan di lantai mezanin teknis bawah atau di atas pelat berpori semen; aktivitas yang memerlukan pembongkaran untuk memasang pondasi. Struktur lantai setelah dipotong dengan gergaji listrik genggam harus diperkuat, dan kapasitas daya dukungnya tidak boleh lebih rendah dari kapasitas daya dukung aslinya. Jika digunakan pondasi independen dari struktur rangka baja, pondasi tersebut harus terbuat dari bahan galvanis atau baja tahan karat, dan permukaan yang terbuka harus rata dan halus.
⑥. Ketika proses pemasangan peralatan proses produksi di ruang bersih memerlukan pembuatan lubang pada panel dinding, langit-langit gantung, dan lantai raised floor, operasi pengeboran tidak boleh membelah atau mengkontaminasi permukaan panel dinding dan panel langit-langit gantung yang perlu dipertahankan. Setelah pembukaan lantai raised floor dan pondasi tidak dapat dipasang tepat waktu, pagar pengaman dan rambu bahaya harus dipasang; setelah peralatan produksi dipasang, celah di sekitar lubang harus ditutup, dan peralatan serta komponen penyegel harus bersentuhan secara fleksibel, dan sambungan antara komponen penyegel dan pelat dinding harus rapat dan kuat; permukaan penyegelan di satu sisi ruang kerja harus rata dan halus.
Waktu posting: 06-09-2023