Ruang bersih juga disebut ruang bebas debu. Ruang bersih digunakan untuk membuang polutan seperti partikel debu, udara berbahaya, dan bakteri di udara dalam ruangan tertentu, serta untuk mengendalikan suhu, kebersihan, tekanan, kecepatan dan distribusi aliran udara, kebisingan, getaran, pencahayaan, dan listrik statis dalam rentang tertentu. Berikut ini dijelaskan secara umum empat kondisi yang diperlukan untuk mencapai persyaratan kebersihan dalam proses pemurnian ruang bersih.
1. Kebersihan pasokan udara
Untuk memastikan kebersihan pasokan udara memenuhi persyaratan, kuncinya adalah kinerja dan pemasangan filter akhir sistem pemurnian. Filter akhir sistem ruang bersih umumnya menggunakan filter HEPA atau filter sub-HEPA. Berdasarkan standar nasional, efisiensi filter HEPA dibagi menjadi empat tingkatan: Kelas A ≥99,9%, Kelas B ≥99,99%, Kelas C ≥99,999%, Kelas D ≥99,999% (untuk partikel ≥0,1μm) (juga dikenal sebagai filter ultra-HEPA); filter sub-HEPA 95-99,9% (untuk partikel ≥0,5μm).
2. Organisasi aliran udara
Pengaturan aliran udara ruang bersih berbeda dengan ruang ber-AC pada umumnya. Udara terbersih harus dialirkan terlebih dahulu ke area operasi. Fungsinya adalah untuk membatasi dan mengurangi kontaminasi pada objek yang diproses. Setiap pengaturan aliran udara memiliki karakteristik dan cakupannya masing-masing: Aliran searah vertikal: Keduanya dapat memperoleh aliran udara ke bawah yang seragam, memudahkan tata letak peralatan proses, memiliki kemampuan pemurnian diri yang kuat, dan dapat menyederhanakan fasilitas umum seperti fasilitas ruang bersih pribadi. Keempat metode pasokan udara ini juga memiliki kelebihan dan kekurangannya masing-masing: filter HEPA tertutup penuh memiliki keunggulan resistansi rendah dan siklus penggantian filter yang lama, tetapi struktur langit-langitnya rumit dan biayanya tinggi; kelebihan dan kekurangan penyaluran filter HEPA tertutup samping dan penyaluran pelat berlubang penuh bertolak belakang dengan penyaluran filter HEPA tertutup penuh. Di antara keduanya, penyaluran pelat berlubang penuh rentan terhadap penumpukan debu di permukaan bagian dalam pelat orifis saat sistem tidak beroperasi terus-menerus, dan perawatan yang buruk akan berdampak pada kebersihan; Penghantaran diffuser padat di atas memerlukan lapisan pencampuran, sehingga hanya cocok untuk ruang bersih tinggi di atas 4m, dan karakteristiknya mirip dengan penghantaran pelat lubang penuh; metode pengembalian udara untuk pelat dengan kisi-kisi di kedua sisi dan saluran keluar udara kembali yang tersusun merata di bagian bawah dinding di kedua sisi hanya cocok untuk ruang bersih dengan jarak bersih kurang dari 6m di kedua sisi; saluran keluar udara kembali di bagian bawah dinding satu sisi hanya cocok untuk ruang bersih dengan jarak kecil antar dinding (seperti ≤2~3m). Aliran searah horizontal: hanya area kerja pertama yang mencapai kebersihan tingkat 100. Ketika udara mengalir ke sisi lain, konsentrasi debu meningkat secara bertahap. Oleh karena itu, hanya cocok untuk ruang bersih dengan persyaratan kebersihan yang berbeda untuk proses yang sama. Distribusi filter HEPA lokal pada dinding pasokan udara dapat mengurangi penggunaan filter HEPA dan menghemat investasi awal, tetapi ada pusaran di area lokal. Aliran udara turbulen: Karakteristik penghantaran atas pelat orifis dan penghantaran atas diffuser padat sama dengan yang disebutkan di atas. Keuntungan penghantaran samping adalah tata letak pipa yang mudah, tanpa interlayer teknis, biaya rendah, dan kondusif untuk renovasi pabrik lama. Kerugiannya adalah kecepatan angin di area kerja besar, dan konsentrasi debu di sisi downwind lebih tinggi daripada di sisi upwind. Penghantaran atas outlet filter HEPA memiliki keuntungan dari sistem yang sederhana, tidak ada pipa di belakang filter HEPA, dan aliran udara bersih langsung dihantarkan ke area kerja, tetapi aliran udara bersih berdifusi perlahan dan aliran udara di area kerja lebih seragam. Namun, ketika beberapa outlet udara disusun secara merata atau outlet filter HEPA dengan diffuser digunakan, aliran udara di area kerja juga dapat dibuat lebih seragam. Namun, ketika sistem tidak berjalan terus-menerus, diffuser rentan terhadap akumulasi debu.
3. Volume pasokan udara atau kecepatan udara
Volume ventilasi yang memadai bertujuan untuk mengencerkan dan menghilangkan polusi udara dalam ruangan. Berdasarkan berbagai persyaratan kebersihan, ketika tinggi bersih ruang bersih tinggi, frekuensi ventilasi perlu ditingkatkan secara tepat. Di antaranya, volume ventilasi ruang bersih 1 juta dipertimbangkan berdasarkan sistem ruang bersih efisiensi tinggi, dan sisanya dipertimbangkan berdasarkan sistem ruang bersih efisiensi tinggi; ketika filter HEPA ruang bersih kelas 100.000 terkonsentrasi di ruang mesin atau filter sub-HEPA digunakan di ujung sistem, frekuensi ventilasi dapat ditingkatkan secara tepat sebesar 10% hingga 20%.
4. Perbedaan tekanan statis
Mempertahankan tekanan positif tertentu di ruang bersih merupakan salah satu syarat penting untuk memastikan ruang bersih tidak atau kurang tercemar untuk mempertahankan tingkat kebersihan yang dirancang. Bahkan untuk ruang bersih bertekanan negatif, harus ada ruangan atau suite yang bersebelahan dengan tingkat kebersihan tidak lebih rendah dari levelnya untuk mempertahankan tekanan positif tertentu, sehingga kebersihan ruang bersih bertekanan negatif dapat dipertahankan. Nilai tekanan positif ruang bersih mengacu pada nilai ketika tekanan statis dalam ruangan lebih besar daripada tekanan statis luar ruangan ketika semua pintu dan jendela tertutup. Hal ini dicapai dengan metode di mana volume pasokan udara sistem pemurnian lebih besar daripada volume udara balik dan volume udara buang. Untuk memastikan nilai tekanan positif ruang bersih, yang terbaik adalah mengunci pasokan udara, udara balik, dan kipas buang. Ketika sistem dihidupkan, kipas pasokan dihidupkan terlebih dahulu, kemudian kipas balik dan kipas buang dihidupkan; ketika sistem dimatikan, kipas buang dimatikan terlebih dahulu, kemudian kipas balik dan kipas pasokan dimatikan untuk mencegah ruang bersih terkontaminasi ketika sistem dihidupkan dan dimatikan. Volume udara yang dibutuhkan untuk mempertahankan tekanan positif ruang bersih terutama ditentukan oleh kekencangan struktur pemeliharaan. Pada tahap awal pembangunan ruang bersih di Tiongkok, karena kekencangan struktur penutup yang buruk, dibutuhkan pasokan udara 2~6 kali/jam untuk mempertahankan tekanan positif ≥5Pa; saat ini, kekencangan struktur pemeliharaan telah sangat ditingkatkan, dan hanya dibutuhkan pasokan udara 1~2 kali/jam untuk mempertahankan tekanan positif yang sama; hanya dibutuhkan pasokan udara 2~3 kali/jam untuk mempertahankan ≥10Pa. Spesifikasi desain nasional menetapkan bahwa perbedaan tekanan statis antara ruang bersih dengan tingkat yang berbeda dan antara area bersih dan area tidak bersih tidak boleh kurang dari 0,5 mmH2O (~5Pa), dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan luar ruangan tidak boleh kurang dari 1,0 mmH2O (~10Pa).
Waktu posting: 03-Mar-2025