Ruang bersih juga disebut ruang bebas debu. Ruang ini digunakan untuk membuang polutan seperti partikel debu, udara berbahaya, dan bakteri di udara dalam ruang tertentu, serta untuk mengontrol suhu ruangan, kebersihan, tekanan ruangan, kecepatan aliran udara dan distribusi aliran udara, getaran kebisingan, pencahayaan, dan listrik statis dalam kisaran tertentu. Berikut ini terutama menjelaskan empat kondisi yang diperlukan untuk mencapai persyaratan kebersihan dalam tindakan pemurnian ruang bersih.
1. Kebersihan pasokan udara
Untuk memastikan kebersihan pasokan udara memenuhi persyaratan, kuncinya adalah kinerja dan pemasangan filter akhir dari sistem pemurnian. Filter akhir dari sistem ruang bersih umumnya menggunakan filter HEPA atau filter sub-HEPA. Menurut standar nasional, efisiensi filter HEPA dibagi menjadi empat tingkatan: Kelas A ≥99,9%, Kelas B ≥99,99%, Kelas C ≥99,999%, Kelas D (untuk partikel ≥0,1μm) ≥99,999% (juga dikenal sebagai filter ultra-HEPA); filter sub-HEPA (untuk partikel ≥0,5μm) 95~99,9%.
2. Pengaturan aliran udara
Pengaturan aliran udara di ruang bersih berbeda dengan ruang ber-AC umum. Ruang bersih mengharuskan udara terbersih dialirkan ke area operasi terlebih dahulu. Fungsinya adalah untuk membatasi dan mengurangi kontaminasi objek yang diproses. Berbagai pengaturan aliran udara memiliki karakteristik dan cakupannya masing-masing: Aliran searah vertikal: Dapat menghasilkan aliran udara ke bawah yang seragam, memudahkan penataan peralatan proses, memiliki kemampuan pemurnian diri yang kuat, dan dapat menyederhanakan fasilitas umum seperti fasilitas ruang bersih pribadi. Keempat metode pasokan udara juga memiliki kelebihan dan kekurangannya masing-masing: filter HEPA tertutup penuh memiliki kelebihan resistansi rendah dan siklus penggantian filter yang panjang, tetapi struktur langit-langitnya kompleks dan biayanya tinggi; kelebihan dan kekurangan pengiriman udara dari atas filter HEPA tertutup samping dan pengiriman udara dari atas pelat lubang penuh berlawanan dengan pengiriman udara dari atas filter HEPA tertutup penuh. Di antaranya, pengiriman udara dari atas pelat lubang penuh rentan terhadap penumpukan debu pada permukaan bagian dalam pelat lubang ketika sistem tidak berjalan terus menerus, dan perawatan yang buruk akan berdampak pada kebersihan; Penyaluran udara dari atas dengan diffuser rapat memerlukan lapisan pencampur, sehingga hanya cocok untuk ruang bersih tinggi di atas 4m, dan karakteristiknya mirip dengan penyaluran udara dari atas dengan pelat berlubang penuh; metode pengembalian udara untuk pelat dengan kisi-kisi di kedua sisi dan saluran keluar pengembalian udara yang tersusun merata di bagian bawah dinding di kedua sisi hanya cocok untuk ruang bersih dengan jarak bersih kurang dari 6m di kedua sisi; saluran keluar pengembalian udara di bagian bawah dinding satu sisi hanya cocok untuk ruang bersih dengan jarak antar dinding yang kecil (misalnya ≤2~3m). Aliran searah horizontal: hanya area kerja pertama yang mencapai tingkat kebersihan 100. Ketika udara mengalir ke sisi lain, konsentrasi debu secara bertahap meningkat. Oleh karena itu, hanya cocok untuk ruang bersih dengan persyaratan kebersihan yang berbeda untuk proses yang sama. Distribusi lokal filter HEPA pada dinding pasokan udara dapat mengurangi penggunaan filter HEPA dan menghemat investasi awal, tetapi terdapat pusaran di area lokal. Aliran udara turbulen: Karakteristik pengiriman udara dari atas menggunakan pelat lubang dan pengiriman udara dari atas menggunakan diffuser padat sama dengan yang disebutkan di atas. Keuntungan pengiriman dari samping adalah tata letak pipa yang mudah, tidak ada lapisan teknis, biaya rendah, dan kondusif untuk renovasi pabrik lama. Kekurangannya adalah kecepatan angin di area kerja besar, dan konsentrasi debu di sisi hilir lebih tinggi daripada di sisi hulu. Pengiriman udara dari atas menggunakan outlet filter HEPA memiliki keuntungan sistem yang sederhana, tidak ada pipa di belakang filter HEPA, dan aliran udara bersih langsung dialirkan ke area kerja, tetapi aliran udara bersih menyebar perlahan dan aliran udara di area kerja lebih seragam. Namun, ketika beberapa outlet udara diatur secara merata atau outlet filter HEPA dengan diffuser digunakan, aliran udara di area kerja juga dapat dibuat lebih seragam. Namun, ketika sistem tidak berjalan terus menerus, diffuser rentan terhadap penumpukan debu.
3. Volume pasokan udara atau kecepatan udara
Volume ventilasi yang memadai bertujuan untuk mengencerkan dan menghilangkan udara tercemar di dalam ruangan. Sesuai dengan persyaratan kebersihan yang berbeda, ketika ketinggian bersih ruang bersih tinggi, frekuensi ventilasi harus ditingkatkan secara tepat. Di antaranya, volume ventilasi ruang bersih 1 juta dipertimbangkan sesuai dengan sistem ruang bersih efisiensi tinggi, dan sisanya dipertimbangkan sesuai dengan sistem ruang bersih efisiensi tinggi; ketika filter HEPA ruang bersih kelas 100.000 terkonsentrasi di ruang mesin atau filter sub-HEPA digunakan di ujung sistem, frekuensi ventilasi dapat ditingkatkan secara tepat sebesar 10% hingga 20%.
4. Perbedaan tekanan statis
Mempertahankan tekanan positif tertentu di ruang bersih merupakan salah satu kondisi penting untuk memastikan ruang bersih tidak atau kurang tercemar guna mempertahankan tingkat kebersihan yang dirancang. Bahkan untuk ruang bersih bertekanan negatif, harus ada ruangan atau suite yang berdekatan dengan tingkat kebersihan yang tidak lebih rendah dari tingkat tekanan positifnya untuk mempertahankan tekanan positif tertentu, sehingga kebersihan ruang bersih bertekanan negatif dapat dipertahankan. Nilai tekanan positif ruang bersih mengacu pada nilai ketika tekanan statis dalam ruangan lebih besar daripada tekanan statis luar ruangan ketika semua pintu dan jendela tertutup. Hal ini dicapai dengan metode di mana volume pasokan udara sistem pemurnian lebih besar daripada volume udara balik dan volume udara buang. Untuk memastikan nilai tekanan positif ruang bersih, sebaiknya kipas pasokan udara, kipas balik, dan kipas buang dihubungkan secara bergantian. Ketika sistem dihidupkan, kipas pasokan dihidupkan terlebih dahulu, kemudian kipas balik dan kipas buang dihidupkan; ketika sistem dimatikan, kipas buang dimatikan terlebih dahulu, kemudian kipas balik dan kipas pasokan dimatikan untuk mencegah ruang bersih terkontaminasi ketika sistem dihidupkan dan dimatikan. Volume udara yang dibutuhkan untuk mempertahankan tekanan positif di ruang bersih terutama ditentukan oleh kekedapan struktur pemeliharaan. Pada tahap awal pembangunan ruang bersih di Tiongkok, karena kekedapan struktur penutup yang buruk, dibutuhkan 2~6 kali/jam pasokan udara untuk mempertahankan tekanan positif ≥5Pa; saat ini, kekedapan struktur pemeliharaan telah sangat ditingkatkan, dan hanya dibutuhkan 1~2 kali/jam pasokan udara untuk mempertahankan tekanan positif yang sama; hanya dibutuhkan 2~3 kali/jam pasokan udara untuk mempertahankan ≥10Pa. Spesifikasi desain nasional menetapkan bahwa perbedaan tekanan statis antara ruang bersih dengan tingkat yang berbeda dan antara area bersih dan area tidak bersih tidak boleh kurang dari 0,5mmH2O (~5Pa), dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan luar ruangan tidak boleh kurang dari 1,0mmH2O (~10Pa).
Waktu posting: 03-03-2025