Laju hasil chip dalam industri manufaktur IC terkait erat dengan ukuran dan jumlah partikel udara yang diendapkan pada chip. Organisasi aliran udara yang baik dapat mengambil partikel yang dihasilkan oleh sumber debu dari ruang bersih untuk memastikan kebersihan ruang bersih, yaitu, organisasi aliran udara di ruang bersih memainkan peran penting dalam laju hasil produksi IC. Desain organisasi aliran udara di ruang bersih perlu mencapai tujuan berikut: mengurangi atau menghilangkan arus eddy di bidang aliran untuk menghindari retensi partikel berbahaya; Pertahankan gradien tekanan positif yang sesuai untuk mencegah kontaminasi silang.
Kekuatan aliran udara
Menurut prinsip ruang bersih, gaya yang bekerja pada partikel termasuk gaya massa, gaya molekul, daya tarik antara partikel, gaya aliran udara, dll.
Gaya aliran udara: mengacu pada kekuatan aliran udara yang disebabkan oleh pengiriman, aliran udara kembali, aliran udara konveksi termal, pengadukan buatan, dan aliran udara lainnya dengan laju aliran tertentu untuk membawa partikel. Untuk kontrol teknis lingkungan kamar yang bersih, kekuatan aliran udara adalah faktor terpenting.
Eksperimen telah menunjukkan bahwa dalam gerakan aliran udara, partikel mengikuti gerakan aliran udara pada kecepatan yang hampir sama. Keadaan partikel di udara ditentukan oleh distribusi aliran udara. Aliran udara yang mempengaruhi partikel dalam ruangan terutama meliputi: aliran udara pasokan udara (termasuk aliran udara primer dan aliran udara sekunder), aliran udara dan aliran udara konveksi termal yang disebabkan oleh orang yang berjalan, dan aliran udara yang disebabkan oleh operasi proses dan peralatan industri. Metode pasokan udara yang berbeda, antarmuka kecepatan, operator dan peralatan industri, dan fenomena yang diinduksi di kamar bersih adalah semua faktor yang mempengaruhi tingkat kebersihan.
Faktor -faktor yang mempengaruhi organisasi aliran udara
1. Pengaruh metode pasokan udara
(1). Kecepatan pasokan udara
Untuk memastikan aliran udara yang seragam, kecepatan pasokan udara harus seragam di ruang bersih searah; Zona mati permukaan pasokan udara harus kecil; Dan penurunan tekanan pada ULPA juga harus seragam.
Kecepatan pasokan udara yang seragam: yaitu, ketidakrataan aliran udara dikendalikan dalam ± 20%.
Kurangnya zona mati di permukaan pasokan udara: Tidak hanya area bidang bingkai ULPA dikurangi, tetapi yang lebih penting, FFU modular harus diadopsi untuk menyederhanakan bingkai yang berlebihan.
Untuk memastikan aliran udara searah vertikal, pemilihan penurunan tekanan filter juga sangat penting, mensyaratkan bahwa kehilangan tekanan pada filter tidak dapat menyimpang.
(2). Perbandingan antara sistem FFU dan sistem kipas aliran aksial
FFU adalah unit pasokan udara dengan kipas dan filter (ULPA). Setelah udara tersedot oleh kipas sentrifugal FFU, tekanan dinamis dikonversi menjadi tekanan statis di saluran udara dan diterbangkan secara merata oleh ULPA. Tekanan pasokan udara pada langit -langit adalah tekanan negatif, sehingga tidak ada debu yang akan bocor ke ruang bersih saat filter diganti. Eksperimen telah menunjukkan bahwa sistem FFU lebih unggul daripada sistem kipas aliran aksial dalam hal keseragaman outlet udara, paralelisme aliran udara dan indeks efisiensi ventilasi. Ini karena paralelisme aliran udara dari sistem FFU lebih baik. Penggunaan sistem FFU dapat membuat aliran udara di ruang bersih lebih terorganisir.
(3). Pengaruh struktur FFU sendiri
FFU terutama terdiri dari kipas, filter, perangkat panduan aliran udara dan komponen lainnya. Filter Efisiensi Ultra-tinggi ULPA adalah jaminan paling penting untuk apakah ruang bersih dapat mencapai kebersihan desain yang diperlukan. Bahan filter juga akan mempengaruhi keseragaman bidang aliran. Ketika bahan filter kasar atau pelat aliran laminar ditambahkan ke outlet filter, medan aliran outlet dapat dengan mudah dibuat seragam.
2. Dampak dari berbagai antarmuka kecepatan kebersihan
Di ruang bersih yang sama, antara area kerja dan area non-kerja dari aliran searah vertikal, karena perbedaan kecepatan udara di outlet ULPA, efek pusaran campuran akan dihasilkan pada antarmuka, dan antarmuka ini akan menjadi turbulen Zona aliran udara dengan intensitas turbulensi udara yang sangat tinggi. Partikel dapat ditransmisikan ke permukaan peralatan dan mencemari peralatan dan wafer.
3. Dampak staf dan peralatan
Ketika ruang bersih kosong, karakteristik aliran udara di ruangan umumnya memenuhi persyaratan desain. Setelah peralatan memasuki ruang bersih, kepindahan personel dan produk ditransmisikan, pasti akan ada hambatan bagi organisasi aliran udara. Misalnya, di sudut atau tepi peralatan yang menonjol, gas akan dialihkan untuk membentuk zona turbulen, dan cairan di zona tidak mudah terbawa oleh gas, sehingga menyebabkan polusi. Pada saat yang sama, permukaan peralatan akan memanas karena operasi terus menerus, dan gradien suhu akan menyebabkan zona reflow di dekat mesin, yang akan meningkatkan akumulasi partikel di zona reflow. Pada saat yang sama, suhu tinggi akan dengan mudah menyebabkan partikel melarikan diri. Efek ganda memperburuk kesulitan mengendalikan kebersihan laminar vertikal keseluruhan. Debu dari operator di ruang bersih sangat mudah dipatuhi wafer di zona reflow ini.
4. Pengaruh Lantai Udara Kembali
Ketika resistansi udara kembali yang melewati lantai berbeda, perbedaan tekanan akan dihasilkan, sehingga udara akan mengalir ke arah lebih sedikit resistensi, dan aliran udara yang seragam tidak akan diperoleh. Metode desain populer saat ini adalah dengan menggunakan lantai tinggi. Ketika laju pembukaan lantai yang ditinggikan adalah 10%, kecepatan aliran udara di ketinggian ruangan ruangan dapat didistribusikan secara merata. Selain itu, perhatian ketat harus diberikan pada pekerjaan pembersihan untuk mengurangi sumber polusi lantai.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi yang disebut mengacu pada fenomena bahwa aliran udara ke arah yang berlawanan dari aliran seragam dihasilkan, dan debu yang dihasilkan di dalam ruangan atau debu di daerah yang terkontaminasi yang berdekatan diinduksi ke sisi angin atas, sehingga debu debu, debu tersebut diinduksi ke sisi atas angin, sehingga debu debu, debu diinduksi ke atas, sehingga debu debu di atas angin, sehingga debu debu di atas angin, sehingga debu di atas angin, debu di atas angin, debu di atas angin, sehingga debu diinduksi oleh angin, debu di atas angin, dapat mencemari chip. Berikut ini adalah fenomena induksi yang mungkin:
(1). Piring buta
Di ruangan yang bersih dengan aliran searah vertikal, karena sambungan di dinding, umumnya ada pelat buta besar yang akan menghasilkan turbulensi dalam aliran pengembalian lokal.
(2). Lampu
Perlengkapan pencahayaan di ruang bersih akan memiliki dampak yang lebih besar. Karena panas lampu neon menyebabkan aliran udara naik, tidak akan ada area turbulen di bawah lampu neon. Secara umum, lampu di ruang bersih dirancang dalam bentuk air mata untuk mengurangi dampak lampu pada organisasi aliran udara.
(3.) Kesenjangan di antara dinding
Ketika ada kesenjangan antara partisi dengan tingkat kebersihan yang berbeda atau antara partisi dan langit -langit, debu dari area tersebut dengan persyaratan kebersihan yang rendah dapat ditransfer ke area yang berdekatan dengan kebutuhan kebersihan yang tinggi.
(4). Jarak antara mesin dan lantai atau dinding
Jika celah antara mesin dan lantai atau dinding sangat kecil, itu akan menyebabkan turbulensi rebound. Oleh karena itu, tinggalkan celah antara peralatan dan dinding dan angkat mesin untuk menghindari membiarkan mesin menyentuh tanah secara langsung.
Waktu posting: Feb-05-2025