Ketentuan Terkait Tentang Kamar Bersih

1. Kebersihan

Ini digunakan untuk mengkarakterisasi ukuran dan jumlah partikel yang terkandung di udara per satuan volume ruang, dan merupakan standar untuk membedakan kebersihan ruang.

2. Konsentrasi debu

Jumlah partikel tersuspensi per satuan volume udara.

3. Negara kosong

Fasilitas ruang bersih telah dibangun dan semua daya terhubung dan berjalan, tetapi tidak ada peralatan produksi, bahan atau personel.

4. Status statis

Semua diselesaikan dan dilengkapi sepenuhnya, sistem pendingin udara pemurnian beroperasi secara normal, dan tidak ada personel di lokasi. Keadaan ruang bersih tempat peralatan produksi telah dipasang tetapi tidak beroperasi; atau keadaan ruang bersih setelah peralatan produksi berhenti beroperasi dan telah membersihkan diri untuk waktu yang ditentukan; Atau keadaan ruang bersih beroperasi dengan cara yang disepakati oleh kedua belah pihak (pembangun dan pihak konstruksi).

5. Status Dinamis

Fasilitas ini beroperasi sebagaimana ditentukan, telah menentukan personel, dan melakukan pekerjaan dalam kondisi yang disepakati.

6. Waktu Pembersih Diri

Ini mengacu pada waktu ketika ruang bersih mulai memasok udara ke ruangan sesuai dengan frekuensi pertukaran udara yang dirancang, dan konsentrasi debu di ruang bersih mencapai tingkat kebersihan yang dirancang. Apa yang akan kita lihat di bawah adalah waktu pembersihan sendiri dari berbagai tingkat kamar bersih.

①. Kelas 100000: Tidak lebih dari 40 menit (menit);

②. Kelas 10000: Tidak lebih dari 30 menit (menit);

③. Kelas 1000: Tidak lebih dari 20 menit (menit).

④. Kelas 100: Tidak lebih dari 3 menit (menit).

7. Kamar Airlock

Kamar airlock dipasang di pintu masuk dan keluar dari ruang bersih untuk memblokir aliran udara yang tercemar di luar atau di kamar yang berdekatan dan untuk mengontrol perbedaan tekanan.

8. Air shower

Kamar tempat personel dimurnikan sesuai dengan prosedur tertentu sebelum memasuki area bersih. Dengan memasang kipas, filter, dan sistem kontrol untuk membersihkan seluruh tubuh orang yang memasuki ruang bersih, ini adalah salah satu cara efektif untuk mengurangi polusi eksternal.

9. Mandi udara kargo

Kamar tempat bahan dimurnikan sesuai dengan prosedur tertentu sebelum memasuki area bersih. Dengan memasang kipas, filter, dan sistem kontrol untuk membersihkan bahan, ini adalah salah satu cara efektif untuk mengurangi polusi eksternal.

10. Pakaian Kamar Bersih

Pakaian bersih dengan emisi debu rendah yang digunakan untuk meminimalkan partikel yang dihasilkan oleh pekerja.

11. Filter Hepa

Di bawah volume udara yang dinilai, filter udara memiliki efisiensi pengumpulan lebih dari 99,9% untuk partikel dengan ukuran partikel 0,3μm atau lebih dan ketahanan aliran udara kurang dari 250Pa.

12. Filter Ultra Hepa

Filter udara dengan efisiensi pengumpulan lebih dari 99,999% untuk partikel dengan ukuran partikel 0,1 hingga 0,2μm dan resistansi aliran udara kurang dari 280Pa di bawah volume udara yang dinilai.