Ruang bersih (cleanroom) adalah ruangan dengan konsentrasi partikel tersuspensi di udara yang terkontrol. Konstruksi dan penggunaannya harus mengurangi masuknya, pembentukan, dan penahanan partikel di dalam ruangan. Parameter relevan lainnya seperti suhu, kelembaban, dan tekanan di dalam ruangan harus dikontrol sesuai kebutuhan. Ruang bersih dibagi berdasarkan jumlah partikel dengan ukuran tertentu per satuan volume udara. Pembagian ini berdasarkan konsentrasi partikel tersuspensi di udara. Secara umum, semakin kecil nilainya, semakin tinggi tingkat pemurniannya. Yaitu, kelas 10 > kelas 100 > kelas 10000 > kelas 100000.
Standar ruang bersih kelas 100 terutama mencakup ruang operasi, manufaktur aseptik industri farmasi.
Jumlah maksimum partikel dengan ukuran partikel bersih lebih besar atau sama dengan 0,1 mikron tidak boleh lebih dari 100.
Perbedaan tekanan, suhu, dan kelembapan: suhu 22℃±2; kelembapan 55%±5; pada dasarnya, perlu ditutupi sepenuhnya dengan FFU dan dibuat lantai yang ditinggikan. Buat sistem MAU+FFU+DC. Selain itu, pertahankan tekanan positif, dan gradien tekanan ruangan yang berdekatan dijamin sekitar 10pa.
Penerangan Karena sebagian besar isi pekerjaan di ruang bersih bebas debu memiliki persyaratan yang ketat dan semuanya merupakan ruangan tertutup, maka selalu ada persyaratan tinggi untuk penerangan. Penerangan lokal: Ini mengacu pada penerangan yang dipasang untuk meningkatkan penerangan di lokasi tertentu. Namun, penerangan lokal umumnya tidak digunakan sendiri dalam penerangan dalam ruangan. Penerangan campuran: Ini mengacu pada penerangan pada permukaan kerja yang disintesis oleh penerangan umum dan penerangan lokal, di mana penerangan umum harus mencakup 10%-15% dari total penerangan.
Standar untuk ruang bersih kelas 1000 adalah mengendalikan jumlah partikel debu dengan ukuran partikel kurang dari 0,5 mikron per meter kubik hingga kurang dari 3.500, yang mencapai standar bebas debu internasional tingkat A. Standar bebas debu yang saat ini digunakan dalam produksi dan pemrosesan tingkat chip memiliki persyaratan debu yang lebih tinggi daripada kelas A. Standar tinggi tersebut terutama digunakan dalam produksi beberapa chip tingkat tinggi. Jumlah partikel debu dikontrol secara ketat dalam batas 1.000 per meter kubik, yang umumnya dikenal sebagai kelas 1000 dalam industri ruang bersih.
Untuk sebagian besar bengkel bersih dan bebas debu, untuk mencegah masuknya polusi eksternal, perlu menjaga tekanan internal (tekanan statis) lebih tinggi daripada tekanan eksternal (tekanan statis). Pemeliharaan perbedaan tekanan umumnya harus sesuai dengan prinsip-prinsip berikut: tekanan ruang bersih harus lebih tinggi daripada ruang tidak bersih; tekanan ruang dengan tingkat kebersihan tinggi harus lebih tinggi daripada ruang yang berdekatan dengan tingkat kebersihan rendah; pintu antara ruang bersih yang terhubung harus dibuka ke ruang dengan tingkat kebersihan tinggi. Pemeliharaan perbedaan tekanan bergantung pada jumlah udara segar, yang harus mampu mengimbangi jumlah udara yang bocor dari celah di bawah perbedaan tekanan ini. Oleh karena itu, makna fisik dari perbedaan tekanan adalah hambatan volume udara yang bocor (atau merembes) ketika melewati berbagai celah di ruang bersih.
Ruang bersih Kelas 10000 berarti jumlah partikel debu yang lebih besar atau sama dengan 0,5 µm lebih besar dari 35.000 partikel/m³ (35 partikel/m³) hingga kurang dari atau sama dengan 35.000 partikel/m³ (350 partikel/m³) dan jumlah partikel debu yang lebih besar atau sama dengan 5 µm lebih besar dari 300 partikel/m³ (0,3 partikel/m³) hingga kurang dari atau sama dengan 3.000 partikel/m³ (3 partikel/m³). Perbedaan tekanan serta kontrol suhu dan kelembaban.
Kontrol sistem koil kering suhu dan kelembaban. Kotak pendingin udara mengatur asupan air koil kotak pendingin udara dengan mengontrol pembukaan katup tiga arah melalui sinyal yang terdeteksi.
Ruang bersih kelas 100.000 berarti partikel per meter kubik di ruang kerja dikendalikan dalam batas 100.000. Ruang kerja produksi kelas bersih terutama digunakan di industri elektronik dan industri farmasi. Ruang kerja produksi kelas 100.000 sangat baik untuk industri makanan. Ruang bersih kelas 100.000 membutuhkan 15-19 pergantian udara per jam. Setelah ventilasi penuh, waktu pemurnian udara tidak boleh melebihi 40 menit.
Perbedaan tekanan ruang bersih dengan tingkat kebersihan yang sama harus dijaga agar tetap konsisten. Perbedaan tekanan antara ruang bersih yang bersebelahan dengan tingkat kebersihan yang berbeda harus 5 Pa, dan perbedaan tekanan antara ruang bersih dan ruang tidak bersih harus >10 Pa.
Suhu dan Kelembapan Jika tidak ada persyaratan khusus untuk suhu dan kelembapan di ruang bersih kelas 100.000, disarankan untuk mengenakan pakaian kerja bersih tanpa merasa tidak nyaman. Suhu umumnya dikontrol pada 20~22℃ di musim dingin dan 24~26℃ di musim panas, dengan fluktuasi ±2C. Kelembapan ruang bersih di musim dingin dikontrol pada 30-50% dan kelembapan ruang bersih di musim panas dikontrol pada 50-70%. Nilai pencahayaan ruang produksi utama di ruang bersih (area) umumnya harus >300Lx: nilai pencahayaan studio bantu, ruang pemurnian personel dan material, ruang udara, koridor, dll. harus 200~300L.
Waktu posting: 14 April 2025