Clean room adalah suatu bangunan tertutup khusus yang dibangun untuk mengendalikan partikel-partikel udara dalam ruang. Secara umum, ruangan yang bersih juga akan mengontrol faktor lingkungan seperti suhu dan kelembapan, pola pergerakan aliran udara, serta getaran dan kebisingan. Jadi, kamar bersih terdiri dari apa? Kami akan membantu Anda memilah lima bagian:
1. Kompartemen
Kompartemen ruang bersih dibagi menjadi tiga bagian, ruang ganti, area bersih kelas 1000, dan area bersih kelas 100. Ruang ganti dan area bersih kelas 1000 dilengkapi dengan pancuran udara. Kamar bersih dan area luar ruangan dilengkapi dengan pancuran udara. Pass box digunakan untuk barang masuk dan keluar clean room. Ketika orang memasuki ruangan bersih, mereka terlebih dahulu harus melewati pancuran udara untuk mengeluarkan debu yang dibawa oleh tubuh manusia dan mengurangi debu yang dibawa ke dalam ruangan bersih oleh petugas. Kotak pass mengeluarkan debu dari item untuk mencapai efek penghilangan debu.
2. Diagram alir sistem udara
Sistem menggunakan AC baru + sistem FFU:
(1). Struktur kotak AC segar
(2).Unit filter kipas FFU
Filter pada ruang bersih kelas 1000 menggunakan HEPA dengan efisiensi filtrasi sebesar 99,997%, dan filter pada ruang bersih kelas 100 menggunakan ULPA dengan efisiensi filtrasi sebesar 99,9995%.
3. Diagram alir sistem air
Tata air dibagi menjadi sisi primer dan sisi sekunder.
Suhu air di sisi primer adalah 7-12℃, yang disuplai ke kotak AC dan unit koil kipas, dan suhu air di sisi sekunder adalah 12-17℃, yang disuplai ke sistem koil kering. Air pada sisi primer dan sisi sekunder merupakan dua rangkaian berbeda yang dihubungkan dengan penukar panas pelat.
Prinsip penukar panas pelat
Kumparan kering: Kumparan non-kondensasi. Karena suhu di bengkel pemurnian adalah 22℃ dan suhu titik embun sekitar 12℃, air 7℃ tidak dapat langsung masuk ke ruang bersih. Oleh karena itu, suhu air yang masuk ke koil kering adalah antara 12-14℃.
4. Suhu sistem kontrol (DDC): kontrol sistem koil kering
Kelembaban: AC mengatur volume saluran masuk air dari kumparan AC dengan mengontrol pembukaan katup tiga arah melalui sinyal yang dirasakan.
Tekanan positif: penyesuaian AC, sesuai dengan sinyal penginderaan tekanan statis, secara otomatis menyesuaikan frekuensi inverter motor AC, sehingga menyesuaikan jumlah udara segar yang masuk ke ruangan bersih.
5. Sistem lain
Tidak hanya sistem pendingin udara, sistem ruangan bersih juga mencakup vakum, tekanan udara, nitrogen, air murni, air limbah, sistem karbon dioksida, sistem pembuangan proses, dan standar pengujian:
(1). Kecepatan aliran udara dan pengujian keseragaman. Pengujian ini merupakan prasyarat untuk pengujian efek ruangan bersih lainnya. Tujuan dari pengujian ini adalah untuk memperjelas rata-rata aliran udara dan keseragaman aliran searah area kerja pada ruangan bersih.
(2). Deteksi volume udara pada sistem atau ruangan.
(3). Deteksi kebersihan dalam ruangan. Deteksi kebersihan bertujuan untuk mengetahui tingkat kebersihan udara yang dapat dicapai dalam ruangan bersih, dan dapat digunakan penghitung partikel untuk mendeteksinya.
(4). Deteksi waktu pembersihan diri. Dengan menentukan waktu self-cleaning, maka dapat dipastikan kemampuan untuk mengembalikan kebersihan ruangan bersih semula ketika terjadi kontaminasi di dalam ruangan bersih.
(5). Deteksi pola aliran udara.
(6). Deteksi kebisingan.
(7) Deteksi iluminasi. Tujuan pengujian iluminasi adalah untuk mengetahui tingkat iluminasi dan keseragaman iluminasi pada ruangan bersih.
(8). Deteksi getaran. Tujuan dari deteksi getaran adalah untuk mengetahui amplitudo getaran setiap tampilan di ruangan bersih.
(9). Deteksi suhu dan kelembaban. Tujuan dari deteksi suhu dan kelembaban adalah kemampuan untuk mengatur suhu dan kelembaban dalam batas tertentu. Isinya antara lain mendeteksi suplai suhu udara ruangan bersih, mendeteksi suhu udara pada titik pengukuran yang representatif, mendeteksi suhu udara di titik tengah ruangan bersih, mendeteksi suhu udara pada komponen sensitif, mendeteksi suhu relatif udara dalam ruangan, dan mendeteksi suhu udara kembali.
(10). Deteksi volume udara total dan volume udara segar.
Waktu posting: 24 Januari 2024