Ruang bersih adalah bangunan tertutup khusus yang dibangun untuk mengendalikan partikel di udara dalam suatu ruangan. Secara umum, ruang bersih juga akan mengendalikan faktor lingkungan seperti suhu dan kelembapan, pola pergerakan aliran udara, serta getaran dan kebisingan. Jadi, apa saja komponen ruang bersih? Kami akan membantu Anda menguraikan lima bagian tersebut:
1. Kompartemen
Kompartemen ruang bersih dibagi menjadi tiga bagian, ruang ganti, area bersih kelas 1000, dan area bersih kelas 100. Ruang ganti dan area bersih kelas 1000 dilengkapi dengan pancuran udara. Ruang bersih dan area luar ruangan dilengkapi dengan pancuran udara. Kotak lewat (pass box) digunakan untuk barang-barang yang masuk dan keluar dari ruang bersih. Ketika orang memasuki ruang bersih, mereka harus terlebih dahulu melewati pancuran udara untuk meniup debu yang dibawa oleh tubuh manusia dan mengurangi debu yang dibawa ke ruang bersih oleh personel. Kotak lewat meniup debu dari barang-barang untuk mencapai efek penghilangan debu.
2. Diagram alir sistem udara
Sistem ini menggunakan sistem pendingin udara + FFU baru:
(1). Struktur kotak pendingin udara segar
(2). Unit filter kipas FFU
Filter di ruang bersih kelas 1000 menggunakan HEPA, dengan efisiensi filtrasi 99,997%, dan filter di ruang bersih kelas 100 menggunakan ULPA, dengan efisiensi filtrasi 99,9995%.
3. Diagram alir sistem air
Sistem air dibagi menjadi sisi primer dan sisi sekunder.
Suhu air pada sisi primer adalah 7-12℃, yang dialirkan ke kotak pendingin udara dan unit fan coil, dan suhu air pada sisi sekunder adalah 12-17℃, yang dialirkan ke sistem dry coil. Air pada sisi primer dan sisi sekunder merupakan dua sirkuit yang berbeda, yang dihubungkan oleh penukar panas pelat.
Prinsip penukar panas pelat
Kumparan kering: Kumparan non-kondensasi. Karena suhu di bengkel pemurnian adalah 22℃ dan suhu titik embunnya sekitar 12℃, air 7℃ tidak dapat langsung masuk ke ruang bersih. Oleh karena itu, suhu air yang masuk ke kumparan kering berada antara 12-14℃.
4. Sistem kontrol suhu (DDC): kontrol sistem koil kering
Kelembapan: Pendingin udara mengatur volume air yang masuk ke koil pendingin udara dengan mengontrol pembukaan katup tiga arah melalui sinyal yang terdeteksi.
Tekanan positif: pengaturan AC, berdasarkan sinyal dari sensor tekanan statis, secara otomatis menyesuaikan frekuensi inverter motor AC, sehingga mengatur jumlah udara segar yang masuk ke ruang bersih.
5. Sistem lainnya
Tidak hanya sistem pendingin udara, sistem ruang bersih juga mencakup vakum, tekanan udara, nitrogen, air murni, air limbah, sistem karbon dioksida, sistem pembuangan proses, dan standar pengujian:
(1). Pengujian kecepatan dan keseragaman aliran udara. Pengujian ini merupakan prasyarat untuk pengujian efek ruang bersih lainnya. Tujuan pengujian ini adalah untuk mengklarifikasi aliran udara rata-rata dan keseragaman area kerja aliran searah di ruang bersih.
(2). Deteksi volume udara sistem atau ruangan.
(3). Deteksi kebersihan ruangan. Deteksi kebersihan adalah untuk menentukan tingkat kebersihan udara yang dapat dicapai di ruang bersih, dan penghitung partikel dapat digunakan untuk mendeteksinya.
(4). Penentuan waktu pembersihan mandiri. Dengan menentukan waktu pembersihan mandiri, kemampuan untuk mengembalikan kebersihan awal ruang bersih ketika terjadi kontaminasi di dalam ruang bersih dapat dipastikan.
(5). Deteksi pola aliran udara.
(6). Deteksi kebisingan.
(7). Deteksi iluminasi. Tujuan pengujian iluminasi adalah untuk menentukan tingkat iluminasi dan keseragaman iluminasi ruang bersih.
(8). Deteksi getaran. Tujuan deteksi getaran adalah untuk menentukan amplitudo getaran setiap tampilan di ruang bersih.
(9). Deteksi suhu dan kelembaban. Tujuan deteksi suhu dan kelembaban adalah kemampuan untuk mengatur suhu dan kelembaban dalam batas tertentu. Isinya meliputi deteksi suhu udara suplai ruang bersih, deteksi suhu udara pada titik pengukuran representatif, deteksi suhu udara pada titik tengah ruang bersih, deteksi suhu udara pada komponen sensitif, deteksi suhu relatif udara dalam ruangan, dan deteksi suhu udara balik.
(10). Deteksi volume udara total dan volume udara segar.
Waktu posting: 24 Januari 2024
