Perlindungan Kebakaran dan Pasokan Air di Ruang Bersih

Fasilitas perlindungan kebakaran adalah bagian penting dari ruang bersih. Pentingnya bukan hanya karena peralatan proses dan proyek konstruksinya mahal, tetapi juga karena kamar bersih adalah bangunan yang relatif tertutup, dan beberapa bahkan merupakan lokakarya tanpa jendela. Bagian kamar yang bersih sempit dan berliku, sehingga sulit untuk mengevakuasi personel dan mengajar api. Untuk memastikan keamanan kehidupan dan properti orang, kebijakan perlindungan kebakaran "pencegahan terlebih dahulu, menggabungkan pencegahan dan kebakaran" harus diimplementasikan dalam desain. Selain mengambil langkah-langkah pencegahan kebakaran yang efektif dalam desain ruang bersih, selain itu, fasilitas pemadam kebakaran yang diperlukan juga diatur. Karakteristik produksi kamar bersih adalah:

(1) Ada banyak peralatan dan instrumen presisi, dan berbagai gas dan cairan yang mudah terbakar, eksplosif, korosif, dan beracun digunakan. Bahaya kebakaran dari beberapa bagian produksi milik Kategori C (seperti difusi oksidasi, fotolitografi, implantasi ion, pencetakan dan pengemasan, dll.), Dan beberapa milik Kategori A (seperti penarikan kristal tunggal, epitaxy, deposisi uap kimia, dll .).

(2) Kamar bersih sangat kedap udara. Setelah kebakaran pecah, akan sulit untuk mengevakuasi personel dan memadamkan api.

(3) Biaya konstruksi kamar bersih tinggi dan peralatan dan instrumennya mahal. Setelah kebakaran pecah, kerugian ekonomi akan sangat besar.

Berdasarkan karakteristik di atas, kamar bersih memiliki persyaratan yang sangat tinggi untuk perlindungan kebakaran. Selain sistem perlindungan kebakaran dan pasokan air, perangkat pemadam kebakaran tetap juga harus dipasang, terutama peralatan dan instrumen yang berharga di ruang bersih perlu ditentukan dengan cermat.