PERLINDUNGAN KEBAKARAN DAN PASOKAN AIR DI RUANG BERSIH

Fasilitas proteksi kebakaran merupakan bagian penting dari ruang bersih. Pentingnya hal ini bukan hanya karena peralatan proses dan proyek konstruksinya mahal, tetapi juga karena ruang bersih merupakan bangunan yang relatif tertutup, dan beberapa bahkan merupakan bengkel tanpa jendela. Lorong-lorong ruang bersih sempit dan berkelok-kelok, sehingga menyulitkan evakuasi personel dan pemadaman kebakaran. Untuk memastikan keselamatan jiwa dan harta benda, kebijakan proteksi kebakaran "pencegahan utama, kombinasi pencegahan dan pemadaman kebakaran" harus diterapkan dalam desain. Selain mengambil langkah-langkah pencegahan kebakaran yang efektif dalam desain ruang bersih, fasilitas pemadam kebakaran yang diperlukan juga harus dipasang. Karakteristik produksi ruang bersih adalah:

(1) Terdapat banyak peralatan dan instrumen presisi, dan berbagai gas dan cairan yang mudah terbakar, meledak, korosif, dan beracun digunakan. Bahaya kebakaran beberapa bagian produksi termasuk dalam Kategori C (seperti difusi oksidasi, fotolitografi, implantasi ion, pencetakan dan pengemasan, dll.), dan beberapa termasuk dalam Kategori A (seperti penarikan kristal tunggal, epitaksi, deposisi uap kimia, dll.).

(2) Ruang bersih sangat kedap udara. Jika terjadi kebakaran, akan sulit untuk mengevakuasi personel dan memadamkan api.

(3) Biaya pembangunan ruang bersih tinggi dan peralatan serta instrumennya mahal. Jika terjadi kebakaran, kerugian ekonomi akan sangat besar.

Berdasarkan karakteristik di atas, ruang bersih memiliki persyaratan yang sangat tinggi untuk perlindungan kebakaran. Selain sistem perlindungan kebakaran dan pasokan air, alat pemadam kebakaran tetap juga harus dipasang, terutama peralatan dan instrumen berharga di ruang bersih perlu ditentukan dengan cermat.