Fasilitas proteksi kebakaran merupakan bagian penting dari ruangan bersih. Pentingnya bukan hanya karena peralatan proses dan proyek konstruksinya mahal, tetapi juga karena ruangan bersih merupakan bangunan yang relatif tertutup, bahkan ada pula yang merupakan bengkel tanpa jendela. Lorong ruang bersih sempit dan berliku-liku, sehingga sulit untuk mengevakuasi personel dan melakukan pemadaman kebakaran. Untuk menjamin keselamatan jiwa dan harta benda masyarakat, kebijakan proteksi kebakaran "pencegahan terlebih dahulu, menggabungkan pencegahan dan kebakaran" harus diterapkan dalam desain. Selain mengambil tindakan pencegahan kebakaran yang efektif dalam desain ruang bersih, fasilitas pemadam kebakaran yang diperlukan juga disiapkan. Ciri-ciri produksi kamar bersih adalah:
(1) Ada banyak peralatan dan instrumen presisi, dan berbagai gas dan cairan yang mudah terbakar, meledak, korosif, dan beracun digunakan. Bahaya kebakaran pada beberapa bagian produksi termasuk dalam Kategori C (seperti difusi oksidasi, fotolitografi, implantasi ion, pencetakan dan pengemasan, dll.), dan beberapa termasuk dalam Kategori A (seperti penarikan kristal tunggal, epitaksi, pengendapan uap kimia, dll. .).
(2) Kamar bersih sangat kedap udara. Begitu terjadi kebakaran, akan sulit untuk mengevakuasi personel dan memadamkan api.
(3) Biaya pembangunan ruang bersih tinggi dan peralatan serta instrumennya mahal. Begitu terjadi kebakaran, kerugian ekonomi akan sangat besar.
Berdasarkan karakteristik di atas, ruangan bersih memiliki persyaratan proteksi kebakaran yang sangat tinggi. Selain sistem proteksi kebakaran dan pasokan air, alat pemadam kebakaran tetap juga harus dipasang, terutama peralatan dan instrumen berharga di ruangan bersih perlu ditentukan dengan cermat.
Waktu posting: 11 April-2024