Persyaratan Desain Kamar Bersih Elektronik

Selain kontrol partikel yang ketat, ruang bersih elektronik yang diwakili oleh lokakarya produksi chip, lokakarya bebas debu sirkuit terintegrasi dan lokakarya pembuatan disk juga memiliki persyaratan yang lebih ketat untuk kontrol suhu dan kelembaban, iluminasi dan shock mikro. Hapus dampak listrik statis pada produk produksi, sehingga lingkungan dapat memenuhi persyaratan proses produksi produk elektronik di lingkungan yang bersih.

Suhu dan kelembaban ruang bersih elektronik harus ditentukan sesuai dengan persyaratan proses produksi. Ketika tidak ada persyaratan khusus untuk proses produksi, suhunya dapat 20-26 ° C dan kelembaban relatif adalah 30%-70%. Suhu kamar bersih dan ruang tamu personel bisa 16-28 ℃. Menurut Standar Nasional Tiongkok GB-50073, yang sejalan dengan standar ISO internasional, tingkat kebersihan jenis ruang bersih ini adalah 1-9. Di antara mereka, kelas 1-5, pola aliran udara adalah aliran searah atau aliran campuran; Pola aliran udara kelas 6 adalah aliran non-inidirectional dan perubahan udara adalah 50-60 kali/jam; Jenis aliran udara kelas 7 adalah aliran non-inidireksional, dan perubahan udara adalah 15-25 kali/jam; Jenis aliran udara kelas 8-9 adalah aliran non-inidireksional, perubahan udara 10-15 kali/jam.

Menurut spesifikasi saat ini, tingkat kebisingan di dalam Kelas 10.000 Kamar Bersih Elektronik tidak boleh lebih besar dari 65dB (A).

1. Rasio penuh dari ruang bersih aliran vertikal di ruang bersih elektronik tidak boleh kurang dari 60%, dan aliran bersih aliran searah horizontal tidak boleh kurang dari 40%, jika tidak itu akan menjadi aliran searah parsial.

2. Perbedaan tekanan statis antara ruang bersih elektronik dan alam terbuka tidak boleh kurang dari 10Pa, dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan area non-bersih dengan kebersihan udara yang berbeda tidak boleh kurang dari 5PA.

3. Jumlah udara segar di Kamar Bersih Elektronik Kelas 10000 harus mengambil nilai dari dua item berikut.

4. Kompensasi jumlah volume udara buang dalam ruangan dan volume udara segar yang diperlukan untuk mempertahankan nilai tekanan positif dalam ruangan.

5. Pastikan jumlah udara segar yang disediakan untuk membersihkan kamar per orang per jam tidak kurang dari 40 meter persegi.