PERSYARATAN DESAIN RUANG BERSIH ELEKTRONIK

Selain pengendalian partikel yang ketat, ruang bersih elektronik yang diwakili oleh bengkel produksi chip, bengkel bebas debu sirkuit terpadu, dan bengkel manufaktur disk juga memiliki persyaratan yang lebih ketat untuk pengendalian suhu dan kelembapan, pencahayaan, dan guncangan mikro. Dampak listrik statis pada produk produksi harus dihilangkan secara ketat, sehingga lingkungan dapat memenuhi persyaratan proses produksi produk elektronik dalam lingkungan yang bersih.

Suhu dan kelembapan ruang bersih elektronik harus ditentukan sesuai dengan persyaratan proses produksi. Jika tidak ada persyaratan khusus untuk proses produksi, suhu dapat berkisar antara 20-26°C dan kelembapan relatif 30%-70%. Suhu ruang bersih personel dan ruang tamu dapat berkisar antara 16-28℃. Menurut standar nasional Tiongkok GB-50073, yang sejalan dengan standar ISO internasional, tingkat kebersihan ruang bersih jenis ini adalah 1-9. Di antaranya, kelas 1-5, pola aliran udaranya adalah aliran searah atau aliran campuran; kelas 6, pola aliran udaranya adalah aliran tidak searah dan pergantian udaranya adalah 50-60 kali/jam; kelas 7, aliran udaranya adalah aliran tidak searah, dan pergantian udaranya adalah 15-25 kali/jam; kelas 8-9, aliran udaranya adalah aliran tidak searah, dan pergantian udaranya adalah 10-15 kali/jam.

Menurut spesifikasi saat ini, tingkat kebisingan dalam ruang bersih elektronik kelas 10.000 tidak boleh lebih besar dari 65dB(A).

1. Rasio penuh ruang bersih aliran vertikal di ruang bersih elektronik tidak boleh kurang dari 60%, dan ruang bersih aliran searah horizontal tidak boleh kurang dari 40%, jika tidak maka akan menjadi aliran searah parsial.

2. Perbedaan tekanan statis antara ruang bersih elektronik dan luar ruangan tidak boleh kurang dari 10Pa, dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan area tidak bersih dengan kebersihan udara yang berbeda tidak boleh kurang dari 5Pa.

3. Jumlah udara segar dalam ruang bersih elektronik kelas 10000 harus mengambil nilai dari dua item berikut.

4. Kompensasi jumlah volume udara buangan dalam ruangan dan volume udara segar yang diperlukan untuk mempertahankan nilai tekanan positif dalam ruangan.

5. Pastikan jumlah udara segar yang disuplai ke ruang bersih per orang per jam tidak kurang dari 40 meter persegi.