PERSYARATAN DESAIN RUANG BERSIH ELEKTRONIK

Selain pengendalian partikel yang ketat, ruang bersih elektronik yang diwakili oleh bengkel produksi chip, bengkel bebas debu sirkuit terpadu, dan bengkel pembuatan disk juga memiliki persyaratan yang lebih ketat untuk pengendalian suhu dan kelembapan, penerangan, dan guncangan mikro. Menghilangkan secara tegas dampak listrik statis pada produk produksi, sehingga lingkungan dapat memenuhi persyaratan proses produksi produk elektronik dalam lingkungan yang bersih.

Suhu dan kelembaban ruang bersih elektronik harus ditentukan sesuai dengan persyaratan proses produksi. Jika tidak ada persyaratan khusus untuk proses produksi, suhu bisa 20-26°C dan kelembaban relatif 30%-70%. Suhu ruang bersih personel dan ruang tamu bisa 16-28℃. Menurut standar nasional Tiongkok GB-50073 yang sejalan dengan standar ISO internasional, tingkat kebersihan ruangan bersih jenis ini adalah 1-9. Diantaranya, kelas 1-5, pola aliran udaranya adalah aliran searah atau aliran campuran; pola aliran udara kelas 6 adalah aliran tidak searah dan pergantian udara 50-60 kali/jam; jenis aliran udara kelas 7 adalah aliran tidak searah, dan pergantian udara 15-25 kali/jam; jenis aliran udara kelas 8-9 adalah aliran tidak searah, pergantian udara 10-15 kali/jam.

Menurut spesifikasi saat ini, tingkat kebisingan dalam ruang bersih elektronik kelas 10.000 tidak boleh lebih besar dari 65dB(A).

1. Rasio penuh ruang bersih aliran vertikal di ruang bersih elektronik tidak boleh kurang dari 60%, dan ruang bersih aliran searah horizontal tidak boleh kurang dari 40%, jika tidak maka akan menjadi aliran searah parsial.

2. Perbedaan tekanan statis antara ruang bersih elektronik dan ruang terbuka tidak boleh kurang dari 10Pa, dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan area tidak bersih dengan kebersihan udara berbeda tidak boleh kurang dari 5Pa.

3. Jumlah udara segar di ruang bersih elektronik kelas 10.000 harus memenuhi nilai dua item berikut.

4. Kompensasi jumlah volume udara buangan dalam ruangan dan volume udara segar yang diperlukan untuk mempertahankan nilai tekanan positif dalam ruangan.

5. Pastikan jumlah udara segar yang disuplai ke ruang bersih per orang per jam tidak kurang dari 40 meter persegi.