PERSYARATAN DESAIN RUANG BERSIH ELEKTRONIK

Selain kontrol partikel yang ketat, ruang bersih elektronik yang diwakili oleh bengkel produksi chip, bengkel bebas debu sirkuit terpadu, dan bengkel pembuatan disk juga memiliki persyaratan yang lebih ketat untuk kontrol suhu dan kelembaban, pencahayaan, dan guncangan mikro. Hal ini bertujuan untuk menghilangkan dampak listrik statis pada produk produksi secara ketat, sehingga lingkungan dapat memenuhi persyaratan proses produksi produk elektronik dalam lingkungan yang bersih.

Suhu dan kelembapan ruang bersih elektronik harus ditentukan sesuai dengan persyaratan proses produksi. Jika tidak ada persyaratan khusus untuk proses produksi, suhu dapat berkisar antara 20-26°C dan kelembapan relatif 30%-70%. Suhu ruang bersih personel dan ruang tempat tinggal dapat berkisar antara 16-28℃. Menurut standar nasional Tiongkok GB-50073, yang sesuai dengan standar ISO internasional, tingkat kebersihan ruang bersih jenis ini adalah 1-9. Di antaranya, kelas 1-5, pola aliran udara adalah aliran searah atau aliran campuran; kelas 6 pola aliran udara adalah aliran tidak searah dan pergantian udara 50-60 kali/jam; kelas 7 jenis aliran udara adalah aliran tidak searah, dan pergantian udara 15-25 kali/jam; kelas 8-9 jenis aliran udara adalah aliran tidak searah, pergantian udara 10-15 kali/jam.

Menurut spesifikasi saat ini, tingkat kebisingan di dalam ruang bersih elektronik kelas 10.000 tidak boleh lebih besar dari 65dB(A).

1. Rasio penuh ruang bersih aliran vertikal di ruang bersih elektronik tidak boleh kurang dari 60%, dan ruang bersih aliran searah horizontal tidak boleh kurang dari 40%, jika tidak, akan menjadi aliran searah sebagian.

2. Perbedaan tekanan statis antara ruang bersih elektronik dan lingkungan luar ruangan tidak boleh kurang dari 10 Pa, dan perbedaan tekanan statis antara area bersih dan area tidak bersih dengan kebersihan udara yang berbeda tidak boleh kurang dari 5 Pa.

3. Jumlah udara segar di ruang bersih elektronik kelas 10000 harus memenuhi dua hal berikut.

4. Mengkompensasi jumlah volume udara buangan dalam ruangan dan volume udara segar yang dibutuhkan untuk mempertahankan nilai tekanan positif dalam ruangan.

5. Pastikan bahwa jumlah udara segar yang dialirkan ke ruang bersih per orang per jam tidak kurang dari 40 meter persegi.