1. Partikel debu pelepasan dalam ruang bersih bebas debu
Fungsi utama ruang bersih adalah untuk mengontrol kebersihan, suhu, dan kelembaban atmosfer yang dihadapi produk (seperti chip silikon, dll.) Kami menyebut ruang ini sebagai ruang bersih. Menurut praktik internasional, tingkat kebersihan terutama ditentukan oleh jumlah partikel per meter kubik udara dengan diameter lebih besar dari standar klasifikasi. Dengan kata lain, yang disebut bebas debu tidak 100% bebas debu, tetapi dikendalikan dalam unit yang sangat kecil. Tentu saja, partikel yang memenuhi standar debu dalam standar ini sudah sangat kecil dibandingkan dengan debu umum yang kita lihat, tetapi untuk struktur optik, bahkan sedikit debu akan memiliki dampak negatif yang sangat besar, jadi bebas debu adalah persyaratan yang tak terhindarkan dalam produksi produk struktur optik.
Mengontrol jumlah partikel debu dengan ukuran partikel lebih besar dari atau sama dengan 0,5 mikron per meter kubik hingga kurang dari 3520/meter kubik akan mencapai kelas A dari standar bebas debu internasional. Standar bebas debu yang digunakan dalam produksi dan pemrosesan tingkat chip memiliki persyaratan yang lebih tinggi untuk debu daripada kelas A, dan standar tinggi seperti itu terutama digunakan dalam produksi beberapa chip tingkat lebih tinggi. Jumlah partikel debu dikontrol secara ketat pada 35.200 per meter kubik, yang umumnya dikenal sebagai Kelas B dalam industri kamar bersih.
2. Tiga jenis negara bagian bersih
Kamar bersih kosong: Fasilitas kamar bersih yang telah dibangun dan dapat digunakan. Ini memiliki semua layanan dan fungsi yang relevan. Namun, tidak ada peralatan yang dioperasikan oleh operator di fasilitas tersebut.
Static Clean Room: Fasilitas kamar bersih dengan fungsi lengkap, pengaturan dan pemasangan yang tepat, yang dapat digunakan sesuai dengan pengaturan atau sedang digunakan, tetapi tidak ada operator di fasilitas tersebut.
Dynamic Clean Room: Ruang bersih yang digunakan normal, dengan fungsi layanan lengkap, peralatan, dan personel; Jika perlu, pekerjaan normal dapat dilakukan.
3. Item kontrol
(1). Dapat menghilangkan partikel debu yang mengambang di udara.
(2). Dapat mencegah generasi partikel debu.
(3). Kontrol suhu dan kelembaban.
(4). Regulasi tekanan.
(5). Penghapusan gas berbahaya.
(6). Kencangkan udara dari struktur dan kompartemen.
(7). Pencegahan listrik statis.
(8). Pencegahan gangguan elektromagnetik.
(9). Pertimbangan faktor keamanan.
(10). Pertimbangan penghematan energi.
4. Klasifikasi
Jenis aliran turbulen
Udara memasuki ruang bersih dari kotak pendingin udara melalui saluran udara dan filter udara (HEPA) di ruang bersih, dan dikembalikan dari panel dinding partisi atau lantai yang ditinggikan di kedua sisi ruang bersih. Aliran udara tidak bergerak secara linier tetapi menyajikan keadaan turbulen atau eddy yang tidak teratur. Jenis ini cocok untuk kamar bersih 1.000-100.000.
Definisi: Kamar yang bersih di mana aliran udara mengalir dengan kecepatan yang tidak rata dan tidak paralel, disertai dengan arus balik atau arus eddy.
Prinsip: Kamar bersih turbulen bergantung pada aliran udara pasokan udara untuk terus -menerus mencairkan udara dalam ruangan dan secara bertahap mencairkan udara yang tercemar untuk mencapai kebersihan (kamar bersih turbulen umumnya dirancang pada tingkat kebersihan di atas 1.000 hingga 300.000).
Fitur: Kamar bersih turbulen bergantung pada beberapa ventilasi untuk mencapai tingkat kebersihan dan kebersihan. Jumlah perubahan ventilasi menentukan tingkat pemurnian dalam definisi (semakin banyak perubahan ventilasi, semakin tinggi tingkat kebersihan)
(1) Waktu pemurnian diri: mengacu pada waktu ketika ruang bersih mulai memasok udara ke ruang bersih sesuai dengan nomor ventilasi yang dirancang dan konsentrasi debu di ruangan mencapai tingkat kebersihan yang dirancang kelas 1.000 diharapkan tidak ada lagi dari 20 menit (15 menit dapat digunakan untuk perhitungan) kelas 10.000 diperkirakan tidak lebih dari 30 menit (25 menit dapat digunakan untuk perhitungan) kelas 100.000 diperkirakan tidak lebih dari 40 menit (30 menit dapat digunakan untuk perhitungan)
(2) Frekuensi ventilasi (dirancang sesuai dengan persyaratan waktu pembersihan diri di atas) Kelas 1.000: 43.5-55.3 kali/jam (Standar: 50 kali/jam) Kelas 10.000: 23.8-28.6 kali/jam (Standar: 25 kali/jam/jam ) Kelas 100.000: 14.4-19.2 kali/jam (Standar: 15 kali/jam)
Keuntungan: Struktur sederhana, biaya konstruksi sistem rendah, mudah memperluas kamar bersih, di beberapa tempat khusus, bangku bersih bebas debu dapat digunakan untuk meningkatkan kelas kamar yang bersih.
Kerugian: Partikel debu yang disebabkan oleh turbulensi mengapung di ruang dalam ruangan dan sulit dikeluarkan, yang dapat dengan mudah mencemari produk proses. Selain itu, jika sistem dihentikan dan kemudian diaktifkan, sering kali butuh waktu lama untuk mencapai kebersihan yang diperlukan.
Aliran Laminar
Udara aliran laminar bergerak dalam garis lurus yang seragam. Udara memasuki ruangan melalui filter dengan laju cakupan 100% dan dikembalikan melalui lantai yang ditinggikan atau papan partisi di kedua sisi. Jenis ini cocok untuk digunakan di lingkungan kamar yang bersih dengan nilai ruang bersih yang lebih tinggi, umumnya kelas 1 ~ 100. Ada dua jenis:
(1) Aliran laminar horizontal: Udara horizontal diterbangkan dari filter dalam satu arah dan dikembalikan oleh sistem udara kembali di dinding yang berlawanan. Debu dipulangkan di luar ruangan dengan arah udara. Secara umum, polusi lebih serius di sisi hilir.
Keuntungan: Struktur sederhana, dapat menjadi stabil dalam waktu singkat setelah operasi.
Kerugian: Biaya konstruksi lebih tinggi dari aliran turbulen, dan ruang dalam ruangan tidak mudah untuk dikembangkan.
(2) Aliran laminar vertikal: Langit -langit kamar sepenuhnya ditutupi dengan filter ULPA, dan udara ditiup dari atas ke bawah, yang dapat mencapai kebersihan yang lebih tinggi. Debu yang dihasilkan selama proses atau oleh staf dapat dengan cepat keluar dengan cepat di luar tanpa mempengaruhi area kerja lainnya.
Keuntungan: Keadaan yang mudah dikelola, stabil dapat dicapai dalam waktu singkat setelah operasi dimulai, dan tidak mudah dipengaruhi oleh negara operasi atau operator.
Kerugian: Biaya konstruksi yang tinggi, sulit digunakan secara fleksibel, gantungan langit -langit menempati banyak ruang, dan merepotkan untuk memperbaiki dan mengganti filter.
Tipe komposit
Jenis komposit adalah untuk menggabungkan atau menggunakan jenis aliran turbulen dan jenis aliran laminar bersama-sama, yang dapat memberikan udara ultra-bersih lokal.
(1) Terowongan Bersih: Gunakan filter HEPA atau ULPA untuk mencakup 100% area proses atau area kerja untuk meningkatkan tingkat kebersihan ke di atas kelas 10, yang dapat menghemat biaya pemasangan dan operasi.
Jenis ini membutuhkan area kerja operator untuk diisolasi dari pemeliharaan produk dan mesin untuk menghindari mempengaruhi pekerjaan dan kualitas selama pemeliharaan mesin.
Terowongan bersih memiliki dua keunggulan lainnya: A. Mudah diperluas secara fleksibel; B. Pemeliharaan peralatan dapat dengan mudah dilakukan di area pemeliharaan.
(2) Tabung bersih: mengelilingi dan memurnikan jalur produksi otomatis yang melaluinya aliran produk lewat, dan meningkatkan tingkat kebersihan ke atas kelas 100. Karena produk, operator, dan lingkungan penghasil debu diisolasi satu sama lain, sejumlah kecil dari Pasokan udara dapat mencapai kebersihan yang baik, yang dapat menghemat energi dan paling cocok untuk jalur produksi otomatis yang tidak memerlukan tenaga kerja manual. Ini berlaku untuk industri farmasi, makanan dan semikonduktor.
(3) Clean Spot: Tingkat kebersihan area proses produk di ruang bersih turbulen dengan tingkat kamar bersih 10.000 ~ 100.000 ditingkatkan menjadi 10 ~ 1000 atau lebih untuk keperluan produksi; Meja kerja yang bersih, gudang bersih, kamar bersih prefabrikasi, dan pakaian bersih termasuk dalam kategori ini.
Bangku Bersih: Kelas 1 ~ 100.
Booth Bersih: Ruang kecil yang dikelilingi oleh kain plastik transparan anti-statis dalam ruang ruang bersih turbulen, menggunakan unit HEPA atau ULPA dan AC independen untuk menjadi ruang bersih tingkat yang lebih tinggi, dengan tingkat 10 ~ 1000, ketinggian sekitar 2,5 meter, dan area cakupan sekitar 10m2 atau kurang. Ini memiliki empat pilar dan dilengkapi dengan roda bergerak untuk penggunaan yang fleksibel.
5. Aliran aliran udara
Pentingnya aliran udara
Kebersihan ruangan yang bersih sering dipengaruhi oleh aliran udara. Dengan kata lain, pergerakan dan difusi debu yang dihasilkan oleh orang -orang, kompartemen mesin, struktur bangunan, dll dikendalikan oleh aliran udara.
Ruang bersih menggunakan HEPA dan ULPA untuk menyaring udara, dan laju pengumpulan debu setinggi 99,97 ~ 99,99995%, sehingga udara yang disaring oleh filter ini dapat dikatakan sangat bersih. Namun, selain manusia, ada juga sumber debu seperti mesin di ruang bersih. Setelah debu yang dihasilkan ini menyebar, tidak mungkin untuk mempertahankan ruang yang bersih, sehingga aliran udara harus digunakan untuk dengan cepat melepaskan debu yang dihasilkan di luar ruangan.
Faktor yang mempengaruhi
Ada banyak faktor yang mempengaruhi aliran udara ruangan yang bersih, seperti peralatan proses, personel, bahan perakitan kamar bersih, perlengkapan pencahayaan, dll. Pada saat yang sama, titik pengalihan aliran udara di atas peralatan produksi juga harus dimasukkan ke dalam pertimbangan.
Titik pengalihan aliran udara pada permukaan meja operasi umum atau peralatan produksi harus ditetapkan pada 2/3 dari jarak antara ruang ruang bersih dan papan partisi. Dengan cara ini, ketika operator bekerja, aliran udara dapat mengalir dari bagian dalam area proses ke area operasi dan mengambil debu; Jika titik pengalihan dikonfigurasi di depan area proses, itu akan menjadi pengalihan aliran udara yang tidak tepat. Pada saat ini, sebagian besar aliran udara akan mengalir ke bagian belakang area proses, dan debu yang disebabkan oleh operasi operator akan dibawa ke belakang peralatan, dan meja kerja akan terkontaminasi, dan hasilnya pasti akan berkurang.
Rintangan seperti meja kerja di kamar yang bersih akan memiliki arus eddy di persimpangan, dan kebersihan di dekatnya akan relatif buruk. Mengebor lubang udara kembali di meja kerja akan meminimalkan fenomena eddy arus; Apakah pemilihan bahan perakitan sesuai dan apakah tata letak peralatan sempurna juga merupakan faktor penting untuk apakah aliran udara menjadi fenomena arus eddy.
6. Komposisi Kamar Bersih
Komposisi ruang bersih terdiri dari sistem berikut (tidak ada yang sangat diperlukan dalam molekul sistem), jika tidak tidak mungkin untuk membentuk ruang bersih yang lengkap dan berkualitas tinggi:
(1) Sistem Langit-Langit: Termasuk batang langit-langit, balok-I atau balok-U, kisi langit-langit atau bingkai langit-langit.
(2) Sistem AC: termasuk kabin udara, sistem filter, kincir angin, dll.
(3) Dinding partisi: termasuk jendela dan pintu.
(4) Lantai: Termasuk lantai tinggi atau lantai anti-statis.
(5) Perlengkapan Pencahayaan: Lampu Flat Purifikasi LED.
Struktur utama ruang bersih umumnya terbuat dari batang baja atau semen tulang, tetapi tidak peduli struktur apa itu, ia harus memenuhi kondisi berikut:
A. Tidak ada retakan yang akan terjadi karena perubahan suhu dan getaran;
B. Tidak mudah untuk menghasilkan partikel debu, dan sulit untuk dilampirkan oleh partikel;
C. higroskopisitas rendah;
D. Untuk mempertahankan kondisi kelembaban di ruang bersih, isolasi termal harus tinggi;
7. Klasifikasi dengan digunakan
Kamar Bersih Industri
Kontrol partikel mati adalah objek. Ini terutama mengontrol polusi partikel debu udara ke objek kerja, dan interior umumnya mempertahankan keadaan tekanan positif. Ini cocok untuk industri mesin presisi, industri elektronik (semikonduktor, sirkuit terintegrasi, dll.), Industri dirgantara, industri kimia dengan kemurnian tinggi, industri energi atom, industri produk optik dan magnetik (CD, film, tape produksi) LCD (Liquid Crystal kaca), hard disk komputer, produksi kepala komputer dan industri lainnya.
Kamar Bersih Biologis
Terutama mengontrol polusi partikel hidup (bakteri) dan partikel mati (debu) ke objek kerja. Itu dapat dibagi menjadi;
A. Ruang Bersih Biologis Umum: Terutama mengontrol polusi benda mikroba (bakteri). Pada saat yang sama, bahan internalnya harus dapat menahan erosi berbagai agen sterilisasi, dan interior umumnya menjamin tekanan positif. Pada dasarnya, bahan internal harus dapat menahan berbagai perawatan sterilisasi ruang bersih industri. Contoh: Industri farmasi, rumah sakit (ruang operasi, bangsal steril), makanan, kosmetik, produksi produk minuman, laboratorium hewan, laboratorium pengujian fisik dan kimia, stasiun darah, dll.
B. Keselamatan Biologis Ruang Bersih: Terutama mengontrol polusi partikel hidup dari objek kerja ke dunia luar dan orang -orang. Tekanan internal harus dipertahankan negatif dengan atmosfer. Contoh: bakteriologi, biologi, laboratorium bersih, rekayasa fisik (gen rekombinan, persiapan vaksin)
Waktu posting: Feb-07-2025